光學(xué)平板 ●光學(xué)平板的兩面都被精密拋光，它通常作為分光鏡或窗口等透過型元件，或被用作全反射鏡或光學(xué)測量中的基準平面。 ●我們提供三種材料類型的光學(xué)平板：BK7,SFS 和準分子激光用 SFS。其中大部分產(chǎn)品有各種指標的組合：形狀（圓形或方形），面精度（λ，λ/4，λ/10，λ/20），多種厚度和平行度。 ●BK7基板常用于可見光和近紅外區(qū)。從紫外到近紅外，SFS的溫度穩(wěn)定性，耐熱性都很好。準分子激光用SFS，用于高功率的準分子激光 KrF（248nm）時，具有低螢光特性。 ●去除拋光面的次表面缺陷（微小裂紋），對于改善膜的質(zhì)量，提高耐高功率激光的穩(wěn)定性很重要。我們盡可能地控制磨料，溫度和研磨過程，減少次表面缺陷。一般而言，當一束強紫外光照射玻璃時，會產(chǎn)生螢光，還會導(dǎo)致透過率下降。當用于15mJ/cm2，1 x 108脈沖，400Hz的248 nm的KrF激光時，10 mm厚的準分子激光用熔融石英玻璃可以滿足99.8%的內(nèi)部透過率。但是，這些條件不保證材料在248 nm時不產(chǎn)生螢光。材料OPB：BK7OPSQ：SFS（人造熔融石英）OPSQK：準分子激光用人造熔融石英面精度測量用波長632.8nm平行度≤3分面精度測量法Zygo激光干涉儀有效尺寸范圍實際尺寸的90%表面質(zhì)量OPB：10-5OPSQ、OPSQK：20-10類型圓形、方形尺寸可根據(jù)客戶要求訂做