<p>反滲透（膜分離）技術(shù)的應(yīng)用使超純水制備從傳統(tǒng)的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復(fù)合離子交換器、混合近年來開始在國外推廣應(yīng)用的EDI（電去離子）技術(shù)，則是超純水制造技術(shù)的一次革命，從此進(jìn)入了一個(gè)無需再生化學(xué)品，而能生產(chǎn)出高達(dá)18MΩ·CM的超純水，用于半導(dǎo)體、集成電路等行業(yè)。國家經(jīng)委也已將RO + EDI 成套技術(shù)的應(yīng)用列入國家重點(diǎn)推廣范圍，對(duì)使用的企業(yè)給以政策上的優(yōu)惠.</p> <p>1: 預(yù)處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈-純水泵－用水點(diǎn) <br />2: 預(yù)處理－一級(jí)反滲透－二級(jí)反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點(diǎn)<br />3: 預(yù)處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點(diǎn)<br />4: 預(yù)處理→紫外線殺菌裝置→一級(jí)RO裝置→二級(jí)RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點(diǎn)<br />水質(zhì)符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)，電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級(jí)）</p>