全自動RCA清洗機 適用產業(yè)：半導體等 控制模式：手動控制模式、自動控制模式 項目 數(shù) 適用對象 硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 藍寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 砷化鎵晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其它襯底晶片 基本規(guī)格 機臺封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm） 機臺主體強度結構：整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材 機臺視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm）Or China 鋼化玻璃（厚度≥2mm） 選配模塊 l  腐蝕液恒溫系統(tǒng) l  腐蝕液循環(huán)過濾系統(tǒng) l  超（兆聲）系統(tǒng) l  全自動供液系統(tǒng) l  全自動烘干系統(tǒng) l  消防系統(tǒng) l  可結合客戶端通訊協(xié)定資料存儲、CIM系統(tǒng)、資料分析存儲建立管理 機臺特點 l  刻蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性 l  QDR沖洗模塊非常見排序式，可根據制程工藝設定 l  集成自動干燥系統(tǒng) l  管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、伺服電機及絲杠導軌等關鍵核心部件均采用進口標準產品 l  保修便利，非庫存品工廠內均建立安全庫存品 l  全程自動化控制，幾何曲線加減速運動，沖擊小運行平穩(wěn)，機械臂定位精度高 l  多級別用戶工藝數(shù)據庫，可供用戶使用和存儲 l  作業(yè)區(qū)內有害氣體多種安全主動及被動保護相結合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全 l  客制化設計能力佳，搞設計能力滿足客戶制程工藝需要 機械臂裝置 Robot的工藝路徑種類 N種（設備出廠前載入PLC內） 機械手傳送定位精度 ≤0.3mm 機械臂走向 右進做出或左進右出 制程控制 PLC控制方式 操作界面 全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏） 槽體數(shù)量 根據制程要求選擇定制 設備制造 蘇州尚純半導體設備有限公司