PA-300-XL SIC       在PA系類(lèi)設(shè)備的基礎(chǔ)上，加裝晶圓專(zhuān)項(xiàng)使用的裝置，可以效率高的測(cè)量SIC和藍(lán)寶石這類(lèi)光學(xué)性能特殊的產(chǎn)品的雙折射和殘余應(yīng)力的信息。 主要特點(diǎn)：操作簡(jiǎn)單，測(cè)量速度可以快到3秒。視野范圍內(nèi)可一次測(cè)量，測(cè)量范圍廣。更直觀的一體讀取數(shù)據(jù)，無(wú)遺漏數(shù)據(jù)點(diǎn)。具有多種分析功能和測(cè)量結(jié)果的比較。維護(hù)簡(jiǎn)單，不含旋轉(zhuǎn)光學(xué)濾片的機(jī)構(gòu)。高達(dá)2056x2464像素的偏振相機(jī)。應(yīng)用領(lǐng)域:    SIC   藍(lán)寶石技術(shù)參數(shù)：       項(xiàng)次           項(xiàng)目            具體參數(shù)1 輸出項(xiàng)目 相位差【nm】，軸方向【°】，相位差與應(yīng)力換算（選配）【MPa】 2測(cè)量波長(zhǎng)520nm 3雙折射測(cè)量范圍0-130nm 4測(cè)量小分辨率0.001nm 5測(cè)量重復(fù)精度<1nm（西格瑪） 6視野尺寸40x48mm到240x320mm（標(biāo)準(zhǔn)） 7選配鏡頭視野不適用 8選配功能    實(shí)時(shí)解析軟件，鏡片解析軟件，數(shù)據(jù)處理軟件，實(shí)現(xiàn)外部控制