工廠低價轉(zhuǎn)讓2臺進口日本OTFC-1800CBI/DBI光學真空鍍膜機真空室 SUS304, φ1800mm×1920mm (H) 工件架 φ1600mm 工件架轉(zhuǎn)速 10rpm to 30rpm(可變) 光學膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監(jiān)控儀波長范圍：350nm to 1100nm反射式或透射式 石英晶振膜厚計 XTC/3+6點式石英晶體傳感器 蒸發(fā)源 電子槍2套 離子源 23cmRF離子源 排氣系統(tǒng) 機械泵+2個擴散泵+Polycold（或2個冷凝泵） 　性能：達到壓力 7.0×10-5 Pa 以下 排氣時間 20分（大氣壓～1.3×10-3 Pa) 基板溫度 ：350℃ 特點：OTFC系列是用于生產(chǎn)紅外截止濾光片、分色濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。真空室尺寸：Φ600-1800mm60點/80點式光學膜厚監(jiān)控使用均勻分布的高離子電流密度的離子源搭載雙電子槍，多點和環(huán)型坩堝可鍍100層以上利用自動蒸鍍控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動蒸鍍過程工件架可選擇鐘罩式或行星式排氣系統(tǒng)可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵　 工作條件：設備尺寸 約5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H) 電源 3相, 200V, 50/60Hz, 約150kVA 水流量 180升/分以上 空氣壓力 0.5MPa以上 重量 約11200kg