旭硝子開發(fā)出再布線層用感光性絕緣膜
2008-12-16
來源：日經(jīng)BP社
11602
旭硝子面向半導(dǎo)體制造工序中的再布線層，新開發(fā)出了感光性絕緣膜“AL Polymer X2000系列”。通過均衡實(shí)現(xiàn)熱特性、電氣特性及機(jī)械特性，提高了易用性。將用作鈍化絕緣膜，在其上再布線及設(shè)置電較等。
該絕緣膜采用旭硝子的氟化學(xué)技術(shù)開發(fā)而成。兼具可不向元器件施加負(fù)擔(dān)的低溫硬化特性（熱處理溫度＋180～250℃）、可提高速度的低介電率特性（相對(duì)介電率2.6～2.7）以及可提高接合可靠性的高拉伸特性（伸度20％）。此外，還具有高解像度、平坦及低吸水性，因此可用于趨于微細(xì)化及高速化的半導(dǎo)體電路的開發(fā)及制造。
本品將在旭硝子的千葉工廠進(jìn)行生產(chǎn)，2009年1月開始銷售。
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