QSY，DSY透明石英玻璃儀器
8977
標準類型 ：中華人民共和國國家標準
標準號 ?。篔C 181-81
標準發(fā)布單位：國家標準局 發(fā)布
標準正文 ?。赫?BR>
本標準主要用于半導體工業(yè)采用的透明石英玻璃儀器。其他冶金、化工、科學研究等所用透明石英玻璃儀器之技術要求均可參考本標準執(zhí)行。
透明石英玻璃儀器有QSY透明石英玻璃儀器和DSY透明石英玻璃儀器兩種。
一、技術要求
1．透明石英玻璃儀器的化學成分，熱穩(wěn)定性，抗結晶性和高溫變色性，均不低于同類管材的要求。
2．透明石英玻璃儀器在加工過程中，應盡量清理應力，必須保證在常溫下逐步升溫至1100℃，在爐內(nèi)自然冷卻后無炸裂。
3．兩種透明石英玻璃儀器均按加工部位的外觀指標分為二級（見下表）。
項 目 一 級 二級
色 加工過程中混入（毫米） 0.1- 0.3 0.3- 1.0
斑 允許數(shù)量（個/100厘米[2]） ≤2 ≤2
外 管接口應做到軸向平行徑向垂直加工 1/2管材壁厚 管材壁厚
表面凸凹不大于所用管材壁厚
型 長度未注明非重要部位的自由公差（毫米） ±3 ±3
錐度（比例） 1∶5、1∶10、1∶15 1∶5、1∶10、1∶15
磨口與未加工亮面呈直徑圓周，彎曲度（毫米） ±1 ±2
磨 磨口內(nèi)亮面（毫米[2]） 不允許 8
口 允許數(shù)量（個/100厘米[2]） 不允許 ≤1
配 塞口的高低公差（毫米） ±3 ±3
合 二通活塞對孔誤差 ≤1/4 ≤1/3
多通活塞對孔誤差 ≤1/2 ≤3/5
水 面積（毫米[2]） ≤10 11- 50
跡 允許數(shù)量（個/100厘米[2]） ≤2 ≤2
云 在加工復雜器件的過程中不易避免的部位 不允許 不允許
霧 （半透明云霧）
焊 焊接之彎曲處熔合圓滑 必須完全熔合 必須熔合
折料和料疙瘩處厚度 在壁厚公差范圍內(nèi) 在壁厚公差范圍內(nèi)
接 炸裂紋 不允許 不允許
析晶和指紋印 不允許 不允許
注：
①密封性檢驗方法：將水盛入磨口儀器中，在不涂油脂的情況下，將塞塞緊，倒翻10次，每次在10秒內(nèi)，用濾紙擦試無滲出水液為封口性能合格。
②QSY透明石英玻璃儀器的非主體部分，在不影響性能的情況下，可用外徑D19
毫米以下的DTS1透明石英玻璃管（棒）。
4．透明石英玻璃儀器，非加工部位（允許加工后達到要求）的技術要求如下。
（1）QSY透明石英玻璃儀器：
儀器的一級品外觀指標不低于相應管材的二級品；
儀器的二級品外觀指標不低于租應管材的三級品。
（2）DSY透明石英?，攦x器：
儀器的一級品外觀指標不低于相應管材的二級品；
儀器的二級品外觀指標不低于相應管材的四級品。
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