QSG3透明石英玻璃坩堝
2004-03-31
來源：
14071
QSG3透 明 石 英 玻 璃 坩 堝 JC 226—81
本 標 準 適 用 于 半 導 體 工 業(yè) 拉 制 單 晶 用 的 高 純 透 明 石 英 玻 璃 坩 堝 。本 坩 堝 采 用 天 然 石 英 熔 制 成 坯 體 ， 并 在 其 內(nèi) 表 面 涂 一 層 高 純 人 造 石 英 玻 璃 層 。
一 、 技 術(shù) 要 求
1、 物 理 、 化 學 性 能 指 標
1）化 學 成 分
a、 內(nèi) 涂 層 化 學 成 分鋁 、 鈣 、 鎂 、 鈦 、 銅 、 鐵 、 鈷 、 鎳 、 錳 、 硼 、 鉀 、 鈉 、 鋰 、 十 三 個 雜 質(zhì) 元 素 的 總 含 量 不 得 大 于 .001%
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