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中頻交流磁控濺射電源

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細(xì)

   SS-T系列中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式,交流正弦輸出。電源輸出頻率設(shè)為典型的40KHZ。中頻濺射電源以兩個濺射靶作為負(fù)載,兩個靶交替工作,因此濺射靶一個濺射周期內(nèi)一半以上的時間為反向電壓截止濺射,使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時,有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒,特別適用于反應(yīng)膜層環(huán)境使用。 電源功率范圍 10-120KW 輸入電源 AC380V三相四線制50-60HZ±10% 輸出方式 交流正弦波 輸出頻率 40KHz 輸出電壓 空載1000V[有效值] 輸出特性 恒流/恒功率 滅弧時間 ≤3uS 輸出穩(wěn)定率 1% 冷卻方式 2-10KW風(fēng)冷 10-120KW水冷 使用環(huán)境 環(huán)境溫度 0-40℃ 環(huán)境濕度 相對濕度≤85% 空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風(fēng)良好 冷卻水 清潔 不含礦物質(zhì)及其他可溶性物質(zhì) 水溫 20-30℃ 壓力 0.15±0.05Mpa 通訊方式 模擬/RS485/RS232 說明:電源的輸出特性可根據(jù)使用需要作相應(yīng)調(diào)整

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