<p>  </p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0cm 0cm 0pt;"><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">產品特點</span></strong><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">:</span></strong></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0cm 0cm 0pt;"> </p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0cm 0cm 0pt;"><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">    采用頻率為數(shù)十千赫茲的中頻電源，配備經(jīng)過嚴格磁路設計的孿生靶（對靶），可以避免</span><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"> “</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">打火</span><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">”</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">、</span><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">“</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">陽極消失</span><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">”</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">、</span><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">“</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">靶中毒</span><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">”</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">等現(xiàn)象，提高了離化率、濺射速率，顯著提高沉積速度，適合做化合物薄膜（如</span><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">TiO2</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">、</span><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">TiN</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">、</span><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">TiC</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">、</span><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">TiCN</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">、</span><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">TiAlN</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">等）的沉積。中頻磁控離子鍍膜機在近幾年得到了迅猛的發(fā)展，在鐘表、眼鏡、五金等裝飾度領域得到廣泛的應用。</span><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"></span></strong></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0cm 0cm 0pt;"><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"> </span></strong></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0cm 0cm 0pt;"><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">技術參數(shù)</span></strong><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">:</span></strong></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0cm 0cm 0pt;"><strong></strong></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0cm 0cm 0pt;"><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"></span></strong><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">真空室箱體：</span></strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">主要規(guī)格有</span><span style="font-size: 12pt; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">800*1000mm</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">、</span><span style="font-size: 12pt; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">1000*1200mm</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">，并可以根據(jù)客戶具體要求設計非標產品。</span><span style="font-size: 12pt; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0cm 0cm 0pt;"><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"></span></strong><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">夾具方式：</span></strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">采用公自轉行星式齒輪結構，工件速度在</span><span style="font-size: 12pt; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">1-15</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">轉</span><span style="font-size: 12pt; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">/</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">分鐘可調。</span><span style="font-size: 12pt; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0cm 0cm 0pt;"><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"></span></strong><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">控制氣體方式：</span></strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">采用質量流量計控制，進氣穩(wěn)定，反應速度快。</span><span style="font-size: 12pt; mso-bidi-font-size: 10.5pt;"> <span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0cm 0cm 0pt;"><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"></span></strong><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">靶：</span></strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">采用整體制造技術，嚴格縝密的磁場設計和磁路布局，濺射刻蝕均勻。</span><span style="font-size: 12pt; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0cm 0cm 0pt;"><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"></span></strong><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">電源：</span></strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">配置有中頻電源（</span><span style="font-size: 12pt; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">20KW</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">、</span><span style="font-size: 12pt; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">40KW</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">等規(guī)格）、直流脈沖電源（電壓、占空比可調節(jié)），并可根據(jù)實際的情況加裝離子源等輔助設施。</span><span style="font-size: 12pt; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0cm 0cm 0pt;"><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"></span></strong><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">抽氣系統(tǒng)：</span></strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">采用國產品牌機械泵、羅茨泵、擴散泵，根據(jù)其真空室大小確定合理型號。也可以根據(jù)客戶的需要配備分子泵或者進口泵等。</span><span style="font-size: 12pt; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0cm 0cm 0pt;"><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"></span></strong><strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">抽真空參數(shù)</span></strong><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">：從大氣抽至</span><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">5*10‾³Pa≤15min </span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">極限真空度</span><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US">8*10‾4Pa</span><span style="font-size: 12pt; font-family: 宋體; mso-bidi-font-size: 10.5pt; mso-ascii-font-family: ˎ̥; mso-hansi-font-family: ˎ̥;">。</span><span style="font-size: 12pt; font-family: ˎ̥; mso-bidi-font-size: 10.5pt;" lang="EN-US"></span></p> <p> </p>